硅片甩干機是目前半導體行業中對硅圓片、掩模板、太陽能電池等其他類似材料要求高潔凈度沖洗甩干的主要設備。由于設備對控制系統的可靠性及實時性要求較高，所以在選擇主控制器時，考慮到用戶的要求及實際應用，我們選擇了s7-200系列中的cpu224作為主控制器。
硅片甩干機采用的主控制器cpu224，繼電器輸出。工作電壓為交流220v，其具有14個輸入點和10個輸出點，此外還選用了一個8點輸出的數字量擴展模塊，和一個4點輸入/1點輸出的模擬量擴展模塊。除了基本的輸入/輸出信號外，由于設備在運行過程中要求實時采集轉速信號，在這里我們使用了cpu224的內部高速計數器功能。另外，本設備選用了新型直流無刷電機及相應的驅動模塊，對電機轉速的控制是通過的模擬量輸出單元實現的。并且，通過模擬量擴展模塊的輸入單元和相應的軟件處理也可以實現對去離子電阻率的實時監控。
cpu224內部的用戶程序存儲器為8k字節，用戶數據存儲器為5k字節，用戶存儲器類型為EEP-ROM。33MHz下布爾指令執行速度為0.37us。內部有繼電器、定時器、計數器、順序控制繼電器、For、Next整數運算及實數運算等功能模塊。附加功能有內置高速計數器、模擬量調節電位器、脈沖輸出、通訊中斷、定時中斷、硬件輸入中斷、實時時鐘及口令保護。
硅片甩干機在用戶軟件上充分地體現了以人為本的特點，為了提高可視性采用了彩色液晶顯示器，更好的實現人機對話。而且為便于用戶操作在工藝菜單設計上采用了較為先進的處理方式，可存儲10種用戶工藝菜單，每種菜單均可根據用戶工藝進行修改設置。并可根據用戶需要設置密碼加密。
